Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο, Electronic microscope

 

Εξελιγμένη μορφή μικροσκοπίου που βασίζεται στη χρήση ακτινοβολίας εξαιρετικά μικρού μήκους κύματος που παράγεται από ηλεκτρόνια σε σωλήνα κενού με αποτέλεσμα την πολύ μεγάλη ανάλυση. Τα ηλεκτρόνια λόγω της κυματικής τους φύσης μπορούν να εστιαστούν σε πολύ μικρή επιφάνεια σε σχέση με τα φωτεινά κύματα που χρησιμοποιούνται από το οπτικό μικροσκόπιο. Τα ηλεκτρόνια πού χρησιμοποιούνται έχουν ένα μήκος κύματος (<0,1nm) δηλ. μέχρι 100,000 φορές μικρότερο από το ορατό φως (~560nm). Κατά συνέπεια μπορούν να διακρίνουν αντικείμενα μέχρι και 1000 φορές καλύτερα από τα απλά μικροσκόπια και 200000 φορές καλύτερα από το ανθρώπινο μάτι, με μεγεθύνσεις 1 εκατομμύριο φορές χωρίς απώλεια λεπτομέρειας. Στη βασική του κατασκευή το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο αποτελείται από
α) το σύστημα παραγωγής δέσμης ηλεκτρονίων από μια πηγή (νήμα βολφραμίου συνήθως αλλά και από άλλα υλικά), το οποίο λειτουργεί σαν κάθοδος όπου μέσα από το οποίο περνάει ρεύμα που αυξάνεται και προκαλεί την εκπομπή ηλεκτρονίων τα οποία στη συνέχεια κατευθύνονται προς την άνοδο όπου με την εφαρμογή κατάλληλου δυναμικού (1-30 KV) επιταχύνονται.
β) το σύστημα δημιουργίας και κατεύθυνσης λεπτής μονοχρωματικής δέσμης μέσω ηλεκτρομαγνητικών φακών, μεταλλικών ανοιγμάτων και πηνίων, τις αντλίες δημιουργίας κενού ώστε να αποφευχθεί η σύγκρουση και απορρόφηση των ηλεκτρονίων από τον αέρα και γ) το σύστημα των διαφόρων ανιχνευτών, ανάλυσης και καταγραφής σημάτων που προκύπτουν από την αλληλεπίδραση της δέσμης ηλεκτρονίων με το δείγμα.  
Τα σύγχρονα ηλεκτρονικά μικροσκόπια μπορεί να βασίζονται σε διαφορετικές τεχνικές ανίχνευσης όπως μετάδοσης (transmission – TEM), σάρωσης (scanning- SEM) και συνδυασμούς τους.